高濃度含氟化物廢（fèi）氣通過兩級換熱之後，達到一（yī）定溫度後經過to直燃爐進行高溫氧化，產生氟化氫等廢氣，氟化氫有極（jí）強腐蝕性，所以TO爐（lú）需要做好防腐蝕性工（gōng）作，本公司選擇（zé）強大的耐腐蝕材料作為澆鑄料，分兩次（cì）澆鑄完成，達到高強度、高（gāo）耐腐蝕的效果，保（bǎo）證後（hòu）期設備的使用壽命；廢氣經過1000℃的高溫氧化後，再（zài）次進入兩級換（huàn）熱，與進氣的低溫廢氣進行冷熱交換後經過急冷塔，在急冷塔的作用下，溫度降至常溫，常溫（wēn）的廢氣經過兩級堿洗，達（dá）到（dào）酸堿中和（hé），達標的中性廢氣通過（guò）煙（yān）囪排入大氣。另外控製係統上：設備采用多監控點（diǎn）位監控（kòng），可通過手機（jī）端等終端設備在線查看設備使用狀態，控製係統內（nèi）部采用以太網通（tōng）訊方式，PLC與（yǔ）觸摸屏、上位機等采用以太網通訊方式，廢氣治理（lǐ）設備（bèi）也可以（yǐ）通過以太網與（yǔ）廠內其他係統進行通訊和數據交換，且TO前設置LEL在線檢測裝置（檢（jiǎn）測精度±5% F.S）和VOCs濃度傳感器，控（kòng）製廢氣進入TO的濃度＜25%LEL， 設置（zhì）二級報（bào）警點，達到一級報警（jǐng）點提示係統檢查，當達到二級報警點時，連鎖控製開啟新鮮空氣閥，當報警持續20s時，係統緊急（jí）停車。