高濃度（dù）含氟化物廢氣通（tōng）過兩級（jí）換熱之（zhī）後，達（dá）到一定溫度後經過to直燃爐進行高溫氧（yǎng）化，產生氟化氫等（děng）廢氣，氟化氫有極強腐蝕性，所以TO爐需要做好防腐蝕性工作，本公司選擇強大的耐腐蝕材料作為澆鑄料，分（fèn）兩次澆鑄完成，達（dá）到（dào）高強度、高耐腐蝕的效果，保證後（hòu）期設備的使用壽命；廢氣經過（guò）1000℃的高溫氧化（huà）後，再次進入兩級換熱，與進（jìn）氣的低溫廢氣進行冷熱交換後（hòu）經過急冷塔，在急冷塔的作用下，溫度降至（zhì）常溫，常溫的廢氣經過兩級堿洗，達到酸堿中和，達（dá）標的中性廢氣通過煙囪排入大氣。另外（wài）控（kòng）製係（xì）統（tǒng）上：設備采用多監（jiān）控點位監控，可通過手機端等終端設備在線查看設備使用狀態，控製係（xì）統內部采用以太網通訊方式，PLC與觸摸屏、上位機等采用以太網（wǎng）通訊方式，廢氣治理（lǐ）設備也可以通過以太網與（yǔ）廠內其他係統進行通訊和數據交換，且TO前設置LEL在線檢測裝置（檢（jiǎn）測精度±5% F.S）和VOCs濃度傳感器，控製廢氣進入（rù）TO的濃度＜25%LEL， 設（shè）置二級報警點（diǎn），達到一級報警點提示係統檢查，當達到二（èr）級報警點時，連鎖控製開啟新鮮空氣閥，當報警持續20s時，係統緊急停車。